| 基于昆虫振动感受器的谐振式硅微机械压力传感器结构设计 |
| |
| 引用本文： | 史慧超,樊尚春. 基于昆虫振动感受器的谐振式硅微机械压力传感器结构设计[J]. 计测技术, 2012, 0(Z1): 97-99 |
| |
| 作者姓名： | 史慧超 樊尚春 |
| |
| 作者单位： | 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 |
| |
| 摘 要： | 针对谐振式硅微机械压力传感器输出信号十分微弱、检测难度大的问题,从结构设计的角度分析了相应的解决方法。将对昆虫孔缝结构振动感受器的研究与谐振式微机械压力传感器的设计相结合,提出在谐振敏感结构中引入孔缝结构,通过孔缝应力集中效应提高检测信号的强度,实现传感器检测性能的提高。
|
| 关 键 词： | 压力传感器 谐振式硅微机械 昆虫振动感受器 孔缝结构 |
Design of Resonant Silicon Micro-machined Pressure Sensor Based on Insect Vibration Receptors |
| |
| SHI Huichao,FAN Shangchun. Design of Resonant Silicon Micro-machined Pressure Sensor Based on Insect Vibration Receptors[J]. Metrology & Measurement Technology, 2012, 0(Z1): 97-99 |
| |
| Authors: | SHI Huichao FAN Shangchun |
| |
| Affiliation: | (School of Instrument Science and Opto-electronics Engineering,Beihang University,Beijing 100191,China) |
| |
| Abstract: | 针对谐振式硅微机械压力传感器输出信号十分微弱、检测难度大的问题,从结构设计的角度分析了相应的解决方法。将对昆虫孔缝结构振动感受器的研究与谐振式微机械压力传感器的设计相结合,提出在谐振敏感结构中引入孔缝结构,通过孔缝应力集中效应提高检测信号的强度,实现传感器检测性能的提高。 |
| |
| Keywords: | resonant pressure sensor silicon micro-machined insects vibration receptors aperture structure |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ |
