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| YX128o-LiNbO3 SAW传感器IDT的有限元建模仿真 | |
| 作者姓名： | 薛齐齐 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学航天科学与力学系 |
| 摘 要： | 为研究高频环境下的二次效应,建立了SAW传感器叉指谐振器(IDT)的二维周期有限元模型.以YX128°-LiNbO3高频SAW传感器为分析对象,定量分析了不同电极设计参数下的电极二次效应;通过谐响应分析,得到了传感器IDT电学导纳与传感器中心频率的关系,提取了IDT的谐振频率和逆谐振频率.结果表明,随着敷金比MR或电极高度EH的增大,表面波的模态频率降低,相应的表面波的速度也会降低.相同电极高度下,随着敷金比的增大,频率截止带逐渐变宽,对应的电极反射率逐渐变大.仿真提取的谐振频率为973MHz,逆谐振频率为1002MHz. |
| 关 键 词： | SAW传感器 叉指谐振器 有限元 |
| 收稿时间： | 2008-10-21 |
| 修稿时间： | 2009-04-11 |
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