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YX128o-LiNbO3 SAW传感器IDT的有限元建模仿真
作者姓名:薛齐齐
作者单位:哈尔滨工业大学航天科学与力学系
摘    要:为研究高频环境下的二次效应,建立了SAW传感器叉指谐振器(IDT)的二维周期有限元模型.以YX128°-LiNbO3高频SAW传感器为分析对象,定量分析了不同电极设计参数下的电极二次效应;通过谐响应分析,得到了传感器IDT电学导纳与传感器中心频率的关系,提取了IDT的谐振频率和逆谐振频率.结果表明,随着敷金比MR或电极高度EH的增大,表面波的模态频率降低,相应的表面波的速度也会降低.相同电极高度下,随着敷金比的增大,频率截止带逐渐变宽,对应的电极反射率逐渐变大.仿真提取的谐振频率为973MHz,逆谐振频率为1002MHz.

关 键 词:SAW传感器  叉指谐振器  有限元
收稿时间:2008-10-21
修稿时间:2009-04-11
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