SiCxOy/SnO2:F/TiO2复合薄膜的制备及其性能 |
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引用本文: | 陈莹莹,张溪文,郭玉,韩高荣.SiCxOy/SnO2:F/TiO2复合薄膜的制备及其性能[J].材料科学与工程学报,2008,26(6):908-910. |
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作者姓名: | 陈莹莹 张溪文 郭玉 韩高荣 |
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作者单位: | 浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州310027 |
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摘 要: | 本文制备了具有低反射率特性和光催化性能的三层复合薄膜SiCxOy/SnO2:F/TiO2。SiCxOy层直接沉积在玻璃基体上,作为障碍层避免离子从玻璃基板扩散到最外的功能层。而SnO2:F和TiO2作为功能层则分别使复合薄膜具有低反射率和光催化性能。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)对样品进行表征。与纯TiO2薄膜相比,复合薄膜由于表面粗糙,以及TiO2到SnO2层界面间的电子移动,表现出较高的光催化性能和亲水性。另一方面,由于SnO2:F层的低E特性,复合薄膜的远红外反射率随着TiO2薄膜厚度逐渐增加而减少。
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关 键 词: | SiCxOy/SnO2:F/TiO2 复合薄膜 低反射率 光催化性能 亲水性 |
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