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| 关于涡轮分子泵的安全使用问题 | |
| 引用本文： | 杨乃恒.关于涡轮分子泵的安全使用问题[J].真空,2008,45(4). |
| 作者姓名： | 杨乃恒 |
| 摘 要： | 本文叙述了关于涡轮分子泵安全使用的一些技术问题.首先对涡轮分子泵的构造特点作了介绍,其次对涡轮分子泵的故障类型、损坏原因,进行了分析.最后从设计和使用上的安全对策进行了讨论,以便更好的使用涡轮分子泵. |
| 关 键 词： | 安全使用 故障分析 安全对策 涡轮分子泵 安全使用 问题 pump operation 安全对策 设计 分析 损坏原因 故障类型 构造特点 叙述 |
On the safe operation of turbomolecular pump |
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| YANG Nai-heng.On the safe operation of turbomolecular pump[J].Vacuum,2008,45(4). | |
| Authors: | YANG Nai-heng |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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