| 常压下使用等离子方式分解PFC气体的研究 |
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| 引用本文： | 张晨阳,王晓东.常压下使用等离子方式分解PFC气体的研究[J].中国测试,2015(3):65-68. |
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| 作者姓名： | 张晨阳 王晓东 |
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| 作者单位： | 天津商业大学机械工程学院 |
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| 摘 要： | 针对半导体产业中PFC系列的温室气体在其排放前必须进行无害化处理的情况,开发一种常压下用等离子分解处理有害气体的装置,其构造为在一个直立的二重管中使水幕沿管内壁流下,在此水幕围成的空间中发生等离子电弧并通过被处理气体,使气体分解并马上溶入水中。实验中达成300 mm长的等离子电弧,在气体排放量与实际生产条件相同的情况下,分解率高达99%。
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| 关 键 词： | 等离子 PFC 分解 半导体 |
Study on decomposing PFC gas using plasma at atmospheric pressure |
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| Authors: | ZHANG Chenyang;WANG Xiaodong |
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| Affiliation: | ZHANG Chenyang;WANG Xiaodong;School of Mechanical Engineering,Tianjin University of Commerce; |
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