| 一种平板式MEMSRF射频开关的设计 |
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| 引用本文： | 张睿,卞剑涛,冯勇建.一种平板式MEMSRF射频开关的设计[J].传感器与微系统,2004,23(10):87-88. |
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| 作者姓名： | 张睿 卞剑涛 冯勇建 |
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| 作者单位： | 厦门大学,机电工程系,福建,厦门,361005 |
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| 摘 要： | 介绍了一种实用的平板电容式MEMSRF射频开关。研究了外加驱动电压与由此所引起的极板间距和极板受力变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的设计分析方法,在此基础上设计了相应的MEMS加工工艺流程,并给出了具体的MEMS工艺。
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| 关 键 词： | 微机电系统 静电驱动 射频开关 |
| 文章编号： | 1000-9787(2004)10-0087-02 |
| 修稿时间： | 2004年5月5日 |
Design on slab mode MEMS RF switch |
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| ZHANG Rui,BIAN Jian-tao,FENG Yong-jian.Design on slab mode MEMS RF switch[J].Transducer and Microsystem Technology,2004,23(10):87-88. |
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| Authors: | ZHANG Rui BIAN Jian-tao FENG Yong-jian |
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| Abstract: | A kind of slab mode capacitive MEMS RF switch is proposed. The nonlinear relationship between the drive voltage and the variety of the stress is researehed,an effective method based on FEA (finite element analysis) is proposed.The processing steps are designed,and MEMS technology is given. |
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| Keywords: | MEMS electronstatic drive RF switch |
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