不同微空气桥结构的InP/InGaAs HBT

文章报道了几种具有不同微空气桥结构的InP HBT。由于微空气桥减小了寄生，发射极尺寸为2×12.5 um2 的InP/InGaAs HBT的截止频率和最大震荡频率都接近160GHz。论文将具有不同微空气桥结构的器件高频特性与传统InP HBT进行对比。对比表明，微空气结构明显降低了寄生，且双指微空气桥结构可以更有效的提高器件的射频特性。试验结果同时表明，微空气桥结构对于提高小尺寸发射极InP HBT的高频特性更有潜力。