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分类号
杂志ISSN号
针尖轮廓飞象扫描检测方法研究
作者姓名:
何振江 杨冠玲
作者单位:
国家教委光电技术与系统开放实验室,重庆大学
摘 要:
分析了目前我国几种针尖轮廓检测方法、特点和存在问题。提出了一种针尖飞象自动检验方法,其原理是:被检测的针尖和探测器不动,利用转镜系统扫描针尖,产生针尖各部的时序象(飞象),这些依次出现的象受到探测器检测,即可获得反映针尖轮廓的一串直径信息。文中还对飞象扫描法的误差进行了分析和讨论。
关 键 词:
自动测量 飞点扫描 针尖轮廓 光电二极管阵列
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