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| 抽速350升/秒的立式涡轮分子泵 | |
| 引用本文： | K. H.Mirgel ,杜景忠,徐清发.抽速350升/秒的立式涡轮分子泵[J].真空,1973(6). |
| 作者姓名： | K. H.Mirgel 杜景忠 徐清发 |
| 作者单位： | 沈阳真空技术研究所，沈阳真空技术研究所 |
| 摘 要： | 描述了一种涡轮分子泵的结构和性能,这种泵按照现代工艺要求已达到了最佳性能,立 式单向流和直接驱动的高速旋转轴的特点为我们提供了不少方便。结构紧凑、转动平稳、 高抽速和高压缩比,乃是涡轮分子泵的最重要特性。该泵的物理性能达到了最佳化并做了一 些试验。作为最佳性能参数如叶轮,叶片角度以及级数等都是通过计算机计算得到的。根据 一系列泵试验所得到的性能数据,对抽速、压缩比、启动时间、功率消耗等问题作了阐明和 讨论。初步研究一下涡轮分子泵的新结构,再查阅一下Gaede,Siegbahn,Becker,Shapiro及Kruger所发表的有关文献,便… |
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