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CVD金刚石膜抛光技术综述
作者姓名:焦可如  黄树涛  周丽  许立福
作者单位:1.沈阳理工大学,沈阳,1101592.长春理工大学,长春,130022
基金项目:国家自然科学基金资助项目(50675142)National Natural Science Foundation of China(No. 50675142)
摘    要:

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