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0.2~2.0GHz100W超宽带GaN功率放大器
引用本文:张晓帆,银军,倪涛,余若祺,斛彦生,王辉,高永辉.0.2~2.0GHz100W超宽带GaN功率放大器[J].半导体技术,2024(3):252-256.
作者姓名:张晓帆  银军  倪涛  余若祺  斛彦生  王辉  高永辉
作者单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
摘    要:设计并实现了一款基于0.25μm GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)工艺的100 W超宽带功率放大器。基于SiC无源工艺设计了集成无源器件(IPD)输入预匹配电路芯片;设计了基于陶瓷基片的T型集成输出预匹配电路;基于建立的传输线变压器(TLT)的精确模型,设计了宽带阻抗变换器,在超宽频带内将50Ω的端口阻抗变换至约12.5Ω,再通过多节微带电路与预匹配后的GaN HEMT芯片实现阻抗匹配。最终,以较小的电路尺寸实现了功率放大器的超宽带性能指标。测试结果表明,功率放大器在0.2~2.0 GHz频带内,在漏极电压36 V、输入功率9 W、连续波的工作条件下,输出功率大于103 W,漏极效率大于50%,输入电压驻波比(VSWR)≤2.5。

关 键 词:GaN高电子迁移率功率管(HEMT)  功率放大器  集成无源器件(IPD)  超宽带  传输线变压器(TLT)
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