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基于栅极限流的SiC MOSFET栅电荷测试方案
引用本文:周浩,魏淑华,刘惠鹏,陈跃俊,张恩鑫,任天一.基于栅极限流的SiC MOSFET栅电荷测试方案[J].半导体技术,2024(2):123-130.
作者姓名:周浩  魏淑华  刘惠鹏  陈跃俊  张恩鑫  任天一
作者单位:1. 北方工业大学信息学院;2. 北京华峰测控技术股份有限公司
摘    要:SiC MOSFET是一种高性能的电力电子器件,其开通/关断过程中积累/释放的栅电荷Qg对MOSFET的开关速度、功率损耗等参数有重要影响。通常采用在栅极设置恒流源驱动,对时间进行积分的方法来测量Qg。为了降低驱动复杂度,提高测试结果精度和可视性,基于双脉冲测试平台的感性负载回路,改用耗尽型MOSFET限制栅极电流实现恒流充电,对SiC MOSFET进行测试。同时利用反馈电阻将较小的栅极电流信号转换为较大的电压信号。实验结果表明:在误差允许范围(±5%)内该测试方案能较为准确地测得SiC MOSFET的Qg,测试结果符合器件规格书曲线。

关 键 词:SiC  MOSFET  栅电荷  栅极恒流  感性负载  双脉冲测试
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