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| 射频MEMS单刀多掷开关设计 | |
| 引用本文： | 赵晓源.射频MEMS单刀多掷开关设计[J].机电元件,2023(1):24-26. |
| 作者姓名： | 赵晓源 |
| 作者单位： | 江苏省姜堰中等专业学校 |
| 摘 要： | 本文结合射频微电子机械系统(MEMS)的特点，功分器、共面波导、电极结构三方面进行结构、材料的合理设计与优化处理，并基于此通过微波性能仿真实验，证实了K型功分器以及各项参数优化后的射频MEMS单刀四掷开关在0.1-20GHz范围内均有着较好的微波性能。 |
| 关 键 词： | 射频MEMS 单刀多掷开关 设计 |