基于精密离心机的三轴硅微谐振加速度计标定方法

为更准确辨识三轴硅微谐振加速度计的误差系数，提高加速度计在飞行器上的加速度矢量测量精度，设计基于精密离心机的加速度计标定方法。分析硅微谐振加速度计的工作原理及误差项，在考虑离心机主要误差源的基础上建立包含零位偏移、标度因数、非正交安装误差、二次项误差与横向灵敏度的硅微谐振加速度计误差模型；设计离心机匀角加速度旋转的三姿态标定方法，在径向轴高g输入的同时，增加角加速度激励，可以更好标定加速度计横向灵敏度；对所提出的标定方法进行仿真，通过最小二乘法完成模型参数辨识。仿真结果表明，参数辨识相对误差可控制在2%以内，二次项系数与横向灵敏度辨识精度均小于1μg。