| 三氧化二铁外延薄膜的制备及贯穿位错表征 |
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| 引用本文： | 陶昂,姚婷婷,江亦潇,陈春林,马秀良,叶恒强.三氧化二铁外延薄膜的制备及贯穿位错表征[J].电子显微学报,2023(4):410-416. |
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| 作者姓名： | 陶昂 姚婷婷 江亦潇 陈春林 马秀良 叶恒强 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家研究中心;2. 季华实验室;3. 大湾区电子显微镜中心松山湖材料实验室;4. 中国科学院物理研究所 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(Nos.52125101,51971224)；;广东省基础与应用基础研究重大项目基金(No.2021B0301030003)； |
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| 摘 要： | 氧化物薄膜中贯穿位错的类型和密度对其物理与化学性质具有重要影响。本文利用脉冲激光沉积技术在Al2O3(0001)和SrTiO3(111)衬底上分别生长了α-Fe2O3外延薄膜，并利用X射线衍射、原子力显微镜和透射电子显微术对不同温度下生长的薄膜其相结构、结晶度、表面形态和位错类型等进行了系统的表征。结果表明：生长温度对Al2O3衬底上薄膜的质量影响很小，而对SrTiO3衬底上薄膜的质量影响显著，Al2O3衬底上薄膜的结晶度和表面平整度普遍优于SrTiO3衬底上的薄膜；Al2O3衬底上薄膜中的贯穿位错为■刃型不全位错，而SrTiO3衬底上薄膜中的贯穿位错不仅包含■刃型不全位错，还有■混合型全位错。
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| 关 键 词： | α-Fe2O3薄膜 脉冲激光沉积 薄膜生长 贯穿位错 |
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