热丝CVD系统内衬底温度分布的数值研究

热丝法化学气相沉积金刚石薄膜系统内，衬底温度和碳源气体浓度是金刚石薄膜生长最为重要的参数。本文根据传热学基本原理，数值模拟了衬底表面辐照度、温度分布，讨论了衬底热传导等因素对衬底温度分布的影响，探讨了如何改善衬底温度均匀性。结果表明，考虑衬底横向热传导后，衬底表面温度分布均匀性明显优于基于辐射热平衡得到的温度分布，在一定程度上有利于生长大面积薄膜。