二元衍射光学 |
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引用本文: | 陈岩松.二元衍射光学[J].量子电子学,1996,13(3):193-200. |
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作者姓名: | 陈岩松 |
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摘 要: | 文章综述了二元光学与衍射光学的发展历史,研究现状以及广泛的应用价值和前景。它研究的物理内容分为两个方面,即用光学的标量衍射理论去研究和设计二元衍射器件与光学电磁矢量衍射的基础研究,在众多采用标量衍射和设计方法中,重点叙述了Gerchberg-Saxon算法和模拟退火算法,同时,简洁地介绍了掩膜制备--光刻--离子蚀刻--复制一套研制二元衍射器件的技术流程,最后,以较多篇幅介绍二元衍射光学在激光波面
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关 键 词: | 二元光学 衍射光学 二元衍射光学 |
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