摘 要: | 一、绪言 对超高真空密封垫的性能要求主要是能保持稳定的密封性能,同时有较高的复原性 (弹性)和较小的压紧力。我们用金属中空“O”型圈实现了可靠的密封可以认为是完成此课题的一个成果。 在我们向理想的与弹性体相近的金属密封垫继续进行研究时,又研制出新的金属“C”形圈密封垫。 这种困的压紧力小,产生的应力也小。因此在一般真空装置广泛使用的橡胶“O”形圈真空法兰[JIS B2290]直接就可做为橡胶金属共用的简易法兰使用,故此报告。 二、金属“C”形圈 金属“C”形圈的简图如图1所示。 圈的材质为SUS304不锈钢,断面形状一般为口朝…
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