用阴极电弧离子镀法制备的高速切削加工领域用Al—Ti—Si—N涂层的结构与性能

用阴极电弧离子镀法在WC-Co基体上沉积了Al/Ti／Si比不同的Al-T-Si-N涂层。利用带有能谱仪（EDS）的透射电子显微镜研究了涂层局部区域的显微结构和成分。该涂膜似乎具有与（Al,Ti)N涂膜相同的柱状结构，但其柱状体的尺寸较小。研究了涂膜的晶体结构、硬度和抗氧化性，与（Al,Ti)N涂膜相比，立方B1型晶体结构的Al-Ti-Si-N涂膜具有较高的硬度。同时，Al-Ti-Si-N涂膜在高达1100℃的高温下于空气中的抗氧化性也得到明显改善。评价了（Al,Ti,Si）N涂层硬质合金立铣刀的切削性能，并在以较高的切削速度加工淬硬钢时显示出明显优异的使用性能。除了涂膜性能之外，还讨论了磨损机理和切削特性。