| 超薄铝膜的制备与透光率的研究 |
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| 引用本文： | 付光宗,杨丰帆,杨小红,廖克俊,刘高彬. 超薄铝膜的制备与透光率的研究[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 352-354 |
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| 作者姓名： | 付光宗 杨丰帆 杨小红 廖克俊 刘高彬 |
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| 作者单位： | 1. 重庆大学,重庆,400044
2. 重庆大学,重庆,400044;重庆师范大学,重庆,400047 |
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| 摘 要： | 当铝(Al)膜的厚度在100nm时,可以作为一种光学薄膜使用.用这种超薄铝膜制成光学元件具有耐激光以及损耗小等特点,在大功率激光系统中将得到应用.利用高纯铝靶,运用直流磁控溅射法制备了超薄铝膜,利用双光束分光光度计研究了其光学性质,测试了超薄铝膜的制备条件,如工作压强、靶基距、溅射时间等对薄膜的光学性质的影响.得到了工作压强、靶基距及溅射功率与薄膜的光学性质之间的关系.
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| 关 键 词： | 超薄铝膜 透射率 光学性质 直流磁控溅射 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0352-03 |
| 修稿时间： | 2005-05-05 |
Study on Transmittance Property on Ultrathin Aluminum Film |
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| Fu Guangzong,Yang Fengfan,Yang Xiaohong,Liao Kejun,Liu Gaobin. Study on Transmittance Property on Ultrathin Aluminum Film[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 352-354 |
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| Authors: | Fu Guangzong Yang Fengfan Yang Xiaohong Liao Kejun Liu Gaobin |
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