晶体生长炉控制柜和中频加热电源的开发 |
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引用本文: | 彭加荣,冯安,李晓波. 晶体生长炉控制柜和中频加热电源的开发[J]. 东方电气评论, 2002, 16(4): 197-200 |
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作者姓名: | 彭加荣 冯安 李晓波 |
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作者单位: | 四川东风电机厂有限公司 |
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摘 要: | 介绍JTL-400A型晶体生长炉电气控制柜、KGPF25-0.3-2.5型中频加热电源的开发设计及应用,特别是PLC控制的PWM直流伺服系统及专用移相触发芯片TC787在设计开发中的应用。
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关 键 词: | 晶体生长炉控制柜 中频加热电源 JTL-400A型 KGPF25-0.3-2.5型 |
修稿时间: | 2002-06-18 |
Design of Electric Control Cabinet for Cryotal Bring-up Furnace and of Middle-frequency Power Source for Heating |
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Abstract: | |
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