| 离子-C60相互作用及其对C60/Si异质结光电特性的影响 |
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| 引用本文： | 雷园园,傅德君,李金钗,郭怀喜,叶明生,范湘军. 离子-C60相互作用及其对C60/Si异质结光电特性的影响[J]. 太阳能学报, 1999, 20(1): 49-54 |
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| 作者姓名： | 雷园园 傅德君 李金钗 郭怀喜 叶明生 范湘军 |
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| 作者单位： | 武汉大学理学院加速器实验室,武汉430072 |
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| 摘 要： | 用离化团簇束（ＩＣＢ）沉积法制备了Ｃ６０薄膜。ＸＲＤ测试表明，膜呈多晶结构，原位电阻测试表明，膜的室温电阻率超过１０＾３Ωｃｍ，具有负的电阻温度系数。用８０ｋｅＶｐ，ＢＢｒ３，Ａｒ和Ｈｅ对Ｃ６０膜作剂量范围为０－１０＾１４ｃｍ＾－２离子注入，Ｃ６０膜的电阻率随注入剂量的增加而下降，ｐ注入使膜呈ｎ型电导，离子与Ｃ６０团簇的相互作用导致Ｃ６０分裂，并使膜表面非晶化，在沉积过程中溅射掺Ａｌ得到Ｐ型Ｃ６０
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| 关 键 词： | 离化团簇束沉积 光电性质 碳60／硅 异质结 |
ION-C60 INTERACTION AND ITS INFLUENCE ON THE PHOTOELECTRIC PROPERTIES OF C60/Si HETEROJUNCTIONS |
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| Lei Yuanyuan,Fu Dejun,Li Jinchai,Guo Huaixi,Ye Mingsheng,Fan Xiangjun. ION-C60 INTERACTION AND ITS INFLUENCE ON THE PHOTOELECTRIC PROPERTIES OF C60/Si HETEROJUNCTIONS[J]. Acta Energiae Solaris Sinica, 1999, 20(1): 49-54 |
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| Authors: | Lei Yuanyuan Fu Dejun Li Jinchai Guo Huaixi Ye Mingsheng Fan Xiangjun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | C 60 ionized cluster beam deposition photoelectric properties |
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