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| 一种微质量传感器的结构设计与优化 | |
| 引用本文： | 张翼,张培仁,王琪民,金恒华,周志良,蒋海峰. 一种微质量传感器的结构设计与优化[J]. 机电一体化, 2006, 12(5): 18-22 |
| 作者姓名： | 张翼 张培仁 王琪民 金恒华 周志良 蒋海峰 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学工程科学院,合肥,230027;中国科学技术大学自动化系,合肥,230027 |
| 摘 要： | 文章介绍了一种新型的微质量传感器，通过测量QCM的谐振频率变化得出在QCM传感器表面吸附的微质量变化。文章还详细介绍了QCM传感器的设计和夹具的结构设计，并用ANSYS 9．0对QCM传感器进行了三维有限元建模，分析了电极尺寸对有限元谐振元振动特性的影响，提出了优化设计的方案，最后进行了实验。实验结果与理论值基本相同，从而证明了结构设计的合理性。 |
| 关 键 词： | 微质量传感器 QCM 结构设计 有限元分析 |
Design and Optimization of a New Micro-mass Sensor |
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| Abstract: | |
| Keywords: | QCM |
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