多晶硅精馏生产过程实际问题探讨 |
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引用本文: | 郭树军,董雪平,林占元.多晶硅精馏生产过程实际问题探讨[J].河南化工,2012(18):18-20. |
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作者姓名: | 郭树军 董雪平 林占元 |
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作者单位: | [1]江西景德半导体新材料有限公司,江西景德镇333000 [2]江西晶安高科股份有限公司,江西南昌330508 |
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摘 要: | 结合生产实践,针对多晶硅精馏特性,对其生产过程的安全、装备、工艺控制和操作、培训以及其他生产实际问题进行系统的分析和探讨,并提出相应的合理化对策和建议。
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关 键 词: | 多晶硅 精馏 生产过程 |
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