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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
多晶硅精馏生产过程实际问题探讨
作者姓名:
郭树军
董雪平
林占元
作者单位:
[1]江西景德半导体新材料有限公司,江西景德镇333000 [2]江西晶安高科股份有限公司,江西南昌330508
摘 要:
结合生产实践,针对多晶硅精馏特性,对其生产过程的安全、装备、工艺控制和操作、培训以及其他生产实际问题进行系统的分析和探讨,并提出相应的合理化对策和建议。
关 键 词:
多晶硅
精馏
生产过程
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