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| 直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO：Al薄膜结构及特性的研究 | |
| 引用本文： | 马康,王海燕,王子建,卢景霄,郜小勇.直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO：Al薄膜结构及特性的研究[J].真空,2007,44(6):57-60. |
| 作者姓名： | 马康 王海燕 王子建 卢景霄 郜小勇 |
| 作者单位： | 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南省郑州450052 |
| 摘 要： | 利用直流磁控溅射法在有机薄膜衬底和普通玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的ZnO：Al透明导电膜，对制备薄膜的结构和光学特性进行了比较研究。研究发现：铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜，具有六角纤锌矿结构；在衬底温度为100℃，溅射压强1．0Pa，氧氩比为1：2．58时，ZnO：Al薄膜具有（002）择优取向，晶化也比较好，在可见光区的平均透过率分别达到了77．6％和82％。 |
| 关 键 词： | 有机衬底 氧分比 ZnO Al 晶化 |
| 文章编号： | 1002-0322（2007）06-0057-04 |
| 收稿时间： | 2007-05-19 |
| 修稿时间： | 2007年5月19日 |
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