| 动态流量法超高真空标准装置 |
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| 引用本文： | 李旺奎,刘强,吕时良.动态流量法超高真空标准装置[J].真空科学与技术学报,1999,19(5). |
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| 作者姓名： | 李旺奎 刘强 吕时良 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所!兰州730000，兰州物理研究所!兰州730000，兰州物理研究所!兰州730000，兰州物理研究所!兰州730000，兰州物理研究所!兰州730000，兰州物理研究所!兰州730000，兰州物理研究所!兰州730000，兰州物理研究所!兰州730000，兰州物理研究所!兰州730000，兰州物理研究所!兰州73 |
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| 摘 要： | 研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准。装置由校准系统、微流量计系统、抽气系统和计算机控制系统组成。校准系统采用四球结构 ,校准球室直径为50 0mm。极限真空度为 6 5× 10 - 9Pa ,校准范围为 10 - 2 ～ 10 - 7Pa ,不确定度为 3% (10 - 2 ～ 10 - 6 Pa)和10 % (10 - 7Pa)。
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| 关 键 词： | 动态流量法 标准装置 超高真空 |
Standard Ultra High Vacuum System Based on Dynamic Flow Technique |
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| Li Wangkui,Liu Qiang,Lu Shiliang,Zhang Dixin,Ma Shilong,Hu Wei,Meng Qinhua Li Detian,Li Zhenghai,Gong Yueli,Meng Yang,Wen Xinhui,Tian Dongxu,Li Li.Standard Ultra High Vacuum System Based on Dynamic Flow Technique[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1999,19(5). |
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| Authors: | Li Wangkui Liu Qiang Lu Shiliang Zhang Dixin Ma Shilong Hu Wei Meng Qinhua Li Detian Li Zhenghai Gong Yueli Meng Yang Wen Xinhui Tian Dongxu Li Li |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Dymamic flow technique Standard system Ultra high vacuum |
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