| 半导体器件工艺与薄膜科学 |
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| 引用本文： | 许振嘉. 半导体器件工艺与薄膜科学[J]. 真空科学与技术学报, 1997, 0(6) |
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| 作者姓名： | 许振嘉 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所!北京，100083 |
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| 摘 要： | 全面地介绍了半导体器件工艺中有关薄膜研究的基本原理，并给出几个实例以说明这些薄膜研究。主要论述了硅IC工艺。
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| 关 键 词： | 薄膜研究 硅集成电路工艺 半导体器件 |
Semiconductor Devices Processing and Thin Film Science |
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| Xu Zhenjia. Semiconductor Devices Processing and Thin Film Science[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 1997, 0(6) |
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| Authors: | Xu Zhenjia |
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| Abstract: | Basic principles and typical examples are given for thin film studies in the processing of semiconductor devices. Special attention was mainly concerned with silicon IC technology. |
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| Keywords: | Thin film studies Si integrated circuit(IC) technology Semiconductor device |
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