| 器件表面钝化层对脉冲激光等效重离子LET值的影响 |
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| 引用本文： | 田恺,曹洲,薛玉雄,杨世宇.器件表面钝化层对脉冲激光等效重离子LET值的影响[J].真空与低温,2007,13(2):102-106,101. |
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| 作者姓名： | 田恺 曹洲 薛玉雄 杨世宇 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,真空低温技术与物理国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 介绍了激光模拟单粒子效应实验中,脉冲激光能量等效重离子线性能量传输(LET)值的理论计算方法,分析了器件表面钝化层对脉冲激光能量和重离子LET等效性计算的影响。受SiO2钝化层的调制,进入Si衬底的脉冲激光能量只占入射到器件表面激光能量的21.6%～16.1%。如果器件表面的钝化层厚度已知,且不考虑非线性效应,就可以利用激光强度透射率函数,算出更精确的脉冲激光能量等效重离子LET值。理论计算结果与相关文献报道的重离子LET值非常接近。
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| 关 键 词： | 脉冲激光 重离子 钝化层 |
| 文章编号： | 1006-7086(2007)02-0102-05 |
| 修稿时间： | 2007年4月16日 |
IMPACT OF DEVICE SURFACE COVERD BY A PASSIVATION LAYER ON PULSED LASER-EQUIVALENT HEAVY ION LET VALUE |
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| TIAN Kai,CAO Zhou,XUE Yu-xiong,YANG Shi-yu.IMPACT OF DEVICE SURFACE COVERD BY A PASSIVATION LAYER ON PULSED LASER-EQUIVALENT HEAVY ION LET VALUE[J].Vacuum and Cryogenics,2007,13(2):102-106,101. |
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| Authors: | TIAN Kai CAO Zhou XUE Yu-xiong YANG Shi-yu |
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| Keywords: | LET |
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