| 测量精度达3.2nm的在线表面粗糙度外差干涉仪信号处理系统 |
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| 引用本文： | 赵洪志 李达成. 测量精度达3.2nm的在线表面粗糙度外差干涉仪信号处理系统[J]. 光电工程, 1999, 26(2): 35-39 |
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| 作者姓名： | 赵洪志 李达成 |
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| 作者单位： | 清华大学精仪系 |
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| 摘 要： | 介绍了用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪整机的信号处理系统，着重讨论了其中的两项关键技术，即利用负反馈构成的宽动态范围测量信号的自动电压控制以及依据计大数和测小数相结合的高精度动态相位测量，系统的测量精度达２．６°（相当于３．２ｎｍ），允许测量中最大多普勒频移±１０ｋＨｚ（对应高度的变化率±８．７５×１０＾－３ｍ／ｓ）完全满足磨床加工中表面粗糙度在线测量的要求。现场测试证实了这一点，这对
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| 关 键 词： | 干涉仪 光外差 表面粗糙度 相位测量 信号处理 |
A Signal Processing System of the On Line Heterodyne Interferometer for Measuring Surface Roughness with Accuracy of 3.2nm |
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| ZHAO Hong zhi,LI Da cheng,CAO Mang. A Signal Processing System of the On Line Heterodyne Interferometer for Measuring Surface Roughness with Accuracy of 3.2nm[J]. Opto-Electronic Engineering, 1999, 26(2): 35-39 |
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| Authors: | ZHAO Hong zhi LI Da cheng CAO Mang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Interferometers Optical heterodyning Surface roughness Automatic voltage control Phase measurement Signal processing. |
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