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| 西门子法多晶硅还原炉气相沉积反应探讨 | |
| 引用本文： | 李汉.西门子法多晶硅还原炉气相沉积反应探讨[J].新材料产业,2011(10):77-79. |
| 作者姓名： | 李汉 |
| 作者单位： | 华陆工程科技有限责任公司 |
| 摘 要： | 自西门子公司在20世纪50年代发明了采用提纯的三氯氢硅(SiHCl3)在氢气(H2)气氛下在加热的硅芯表面反应沉积多晶硅的方法——西门子法,此后各国都在十分保密的情况下发展各自的多晶硅工艺1],我国多晶 |
| 关 键 词： | 多晶硅工艺 西门子法 还原炉 沉积反应 封闭循环 有效转化率 气相沉积 反应器 尾气回收装置 系统模拟计算 |
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