Al_2O_3对CaO-R_2O-SiO_2/ZrO_2基LTCC材料结构性能的影响 |
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引用本文: | 罗建,钟朝位,张旭,崔毓仁,王乔升.Al_2O_3对CaO-R_2O-SiO_2/ZrO_2基LTCC材料结构性能的影响[J].电子元件与材料,2014(3). |
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作者姓名: | 罗建 钟朝位 张旭 崔毓仁 王乔升 |
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作者单位: | 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室; |
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摘 要: | 采用高温熔融法在1 350℃制备了CaO-R2O-SiO2玻璃粉料,系统研究了Al2O3的添加量对CaO-R2O-SiO2/ZrO2基LTCC玻璃/陶瓷材料结构与性能的影响规律。研究结果表明,适量添加Al2O3可促进主晶相生长,提高材料结构稳定性,使其具有良好的力学电学性能。当Al2O3添加质量分数达7.5%时,850℃下可制得抗弯强度为183 MPa、相对介电常数为7.19、介电损耗为0.22%、电阻率5×1 013?·cm的CaO-R2O-SiO2/ZrO2基LTCC玻璃/陶瓷材料。
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关 键 词: | 低温共烧陶瓷 ZrO AlO 高温熔融法 玻璃/陶瓷复合材料 电子封装材料 |
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