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Al_2O_3对CaO-R_2O-SiO_2/ZrO_2基LTCC材料结构性能的影响
引用本文:罗建,钟朝位,张旭,崔毓仁,王乔升.Al_2O_3对CaO-R_2O-SiO_2/ZrO_2基LTCC材料结构性能的影响[J].电子元件与材料,2014(3).
作者姓名:罗建  钟朝位  张旭  崔毓仁  王乔升
作者单位:电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
摘    要:采用高温熔融法在1 350℃制备了CaO-R2O-SiO2玻璃粉料,系统研究了Al2O3的添加量对CaO-R2O-SiO2/ZrO2基LTCC玻璃/陶瓷材料结构与性能的影响规律。研究结果表明,适量添加Al2O3可促进主晶相生长,提高材料结构稳定性,使其具有良好的力学电学性能。当Al2O3添加质量分数达7.5%时,850℃下可制得抗弯强度为183 MPa、相对介电常数为7.19、介电损耗为0.22%、电阻率5×1 013?·cm的CaO-R2O-SiO2/ZrO2基LTCC玻璃/陶瓷材料。

关 键 词:低温共烧陶瓷  ZrO  AlO  高温熔融法  玻璃/陶瓷复合材料  电子封装材料
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