锆酸铅薄膜的生长特性与表面化学态 |
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引用本文: | 唐振方,蒋力立,刘彭义,孙汪典,唐新桂. 锆酸铅薄膜的生长特性与表面化学态[J]. 压电与声光, 2003, 25(2): 142-145,169 |
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作者姓名: | 唐振方 蒋力立 刘彭义 孙汪典 唐新桂 |
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作者单位: | 1. 暨南大学,理工学院,广州,510632 2. 广东工业大学,应用物理系,广州,510090 3. 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050 |
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基金项目: | 暨南大学青年基金资助项目(640061) |
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摘 要: | 以醋酸铅和异丙醇锆为原料,乙二醇甲醚为溶剂。通过溶胶-凝胶法和快速退火工艺在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片成功地制备出不开裂的钙钛矿PbZrO3薄膜。用XRD和原子力显微镜测量了薄膜随退火温度变化的结构和表面形貌特征,用XPS测试了650℃退火PbZrO3薄膜的表面化学态。
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关 键 词: | PbZrO3 薄膜 溶胶-凝胶 表面形貌 化学态 |
文章编号: | 1004-2474(2003)02-0142-04 |
Growth Characterization and Chemical States of Lead Zirconate Thin Films |
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Abstract: | |
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Keywords: | PbZrO_3 thin films Sol-Gel surface morphology chemical states |
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