| 提高辐射剂量计用金刚石膜电学性能的研究 |
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| 引用本文： | 廖晓明,冉均国,苟立,苏葆辉,张进,王兵.提高辐射剂量计用金刚石膜电学性能的研究[J].稀有金属材料与工程,2005,34(Z2):755-758. |
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| 作者姓名： | 廖晓明 冉均国 苟立 苏葆辉 张进 王兵 |
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| 作者单位： | 1. 四川大学,四川,成都,610065
2. 西南科技大学,四川,绵阳,621010 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(10275046) |
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| 摘 要： | 针对目前金刚石膜存在电阻率低,使辐射剂量计器件的信噪比不大、X光灵敏度较低的问题,采用优化的氧等离子体和氮等离子体对生成膜进行原位后处理.结果表明氧等离子体处理比氮等离子体更能有效的刻蚀石墨等非金刚石成分;处理后样品生成膜的电阻率可提高至少4个数量级;优化的等离子体处理工艺能提高金刚石膜对X射线的响应.
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 等离子体原位后处理 电学性能 辐射剂量计 |
| 文章编号： | 1002-185X(2005)S1-0755-04 |
| 修稿时间： | 2004年12月28 |
Improvement in the Electrical Properties of Diamond Films for Radiation Dosimeter |
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| Liao Xiaoming,Ran Junguo,Gou Li,Su Baohui,Zhang Jin,Wang Bing.Improvement in the Electrical Properties of Diamond Films for Radiation Dosimeter[J].Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(Z2):755-758. |
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| Authors: | Liao Xiaoming Ran Junguo Gou Li Su Baohui Zhang Jin Wang Bing |
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