扩散硅压力传感器工艺工程的FMECA分析

通过将扩散硅压力传感器的每一道工序作为“部件或元件”构成“工艺”的可靠性框图，进行ＦＭＥＣＡ分析，指出了各个工艺所产生的失效模式，失效原因，失效效应和改进措施。