| 非晶硅薄膜光吸收系数的研究 |
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| 引用本文： | 钱祥忠. 非晶硅薄膜光吸收系数的研究[J]. 真空电子技术, 2004, 0(2): 20-22 |
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| 作者姓名： | 钱祥忠 |
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| 作者单位： | 温州师范学院,浙江,温州,325027 |
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| 摘 要： | 用化学气相沉积法制备非晶硅薄膜,测量了样品的光吸收系数及其波长区域范围.测得在最佳工艺条件下,非晶硅薄膜的光吸收系数随入射光波长增大而减小,随衬底温度升高而增大,随射频功率和反应气体流量的增大而减小,在700 nm附近的光吸收系数不低于1×103 cm-1,满足高性能液晶光阀对光电导层的性能要求.
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| 关 键 词： | 非晶硅 光吸收系数 波长范围 |
| 文章编号： | 1002-8935(2004)02-0020-03 |
| 修稿时间： | 2003-09-12 |
Study of Absorption Coefficient of Hydrogenated Amorphous Silicon |
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| QIAN Xiang-zhong. Study of Absorption Coefficient of Hydrogenated Amorphous Silicon[J]. Vacuum Electronics, 2004, 0(2): 20-22 |
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| Authors: | QIAN Xiang-zhong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Hydrogenated amorphous silicon Light absorption coefficient Wavelength width |
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