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| 多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用 | |
| 引用本文： | 王晓红,谢克文,周俊,刘理天. 多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用[J]. 半导体学报, 2003, 24(z1): 198-201 |
| 作者姓名： | 王晓红 谢克文 周俊 刘理天 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;90207023; |
| 摘 要： | 多孔硅作为一种新型材料,利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性,将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中,作为其电极扩散层.对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究,提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的制作硅微质子交换膜燃料电池的工艺. |
| 关 键 词： | 微型质子交换膜燃料电池 多孔硅 MEMS |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)0-0198-04 |
| 修稿时间： | 2002-09-16 |
Design of μPEMFC Fabricated with Porous Silicon |
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