| 集成电路生产线多区域设备数据快速采集集成技术 |
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| 引用本文： | 裴志伟,姬小兵.集成电路生产线多区域设备数据快速采集集成技术[J].工业控制计算机,2013(12):106-107. |
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| 作者姓名： | 裴志伟 姬小兵 |
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| 作者单位： | 沈阳中科博微自动化技术有限公司,辽宁沈阳110179 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项课题（2011ZX02507-006）资助 |
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| 摘 要： | 介绍了集成电路生产线多区域设备数据快速采集集成技术的实现方法,多个Host服务分区域管理生产线中的设备,遵循SEMI相关标准,与生产线设备建立通讯链路,采用周期订阅的方式采集Host服务所管控的区域设备数据,并将采集数据存储于远程SQL Server数据服务器进行数据集成。
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| 关 键 词： | Host SEMI HSMS TRACE SQL Server |
Integrated Circuit Production Line Multiregion Equipment Data Rapid Acquisition Integration Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Host SEMI HSMS TRACE SQL Server |
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