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Au-Cu合金择优溅射机制的一个新观点
引用本文:李日升.Au-Cu合金择优溅射机制的一个新观点[J].金属学报,1987(4).
作者姓名:李日升
作者单位:中国科学院金属研究所
摘    要:本文介绍了新近关于合金择优溅射机制的一个新观点.这个观点认为,在AuCu合金中所观测到的择优溅射现象,主要是离子轰击诱发的Gibbs偏析的结果;只有当轰击离子的能量低至几百电子伏、接近溅射的“准阈能”值对,质量效应才起明显的作用。

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