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硅微电子技术发展趋势分析
引用本文：许居衍.硅微电子技术发展趋势分析[J].LSI制造与测试,1992,13(5):1-6,15.
作者姓名：许居衍
摘    要：
关 键 词：微电子技术  微电子工业  硅  分析
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