| 双电测组合法测试半导体电阻率的研究 |
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| 引用本文： | 宿昌厚,鲁效明. 双电测组合法测试半导体电阻率的研究[J]. 半导体学报, 2003, 24(3): 298-306 |
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| 作者姓名： | 宿昌厚 鲁效明 |
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| 作者单位： | 北京工业大学电子信息与控制工程学院 北京100022(宿昌厚)，中国计量科学研究院集成电路室 北京100013(鲁效明) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6 9346 0 0 2 )~~ |
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| 摘 要： | 对双电测组合四探针法测试方块电阻 (Rs)和体电阻率 ( ρ)进行了研究 ,从理论和实践上揭示三种组合模式的共同优点 :测量结果与探针间距无关 ,可使用不等距探针头 ;具有自动修正边界影响的功能 ,不必寻找修正因子 ;不移动探针头即可得知均匀性 .推导出用于体电阻率时的厚度函数 .论述了Rs、ρ、大小样片及边界附近的测试原理 ,给出了Rs 和 ρ的计算公式.
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| 关 键 词： | 双电测组合四探针法 方块电阻 电阻率 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)03-0298-09 |
| 修稿时间： | 2002-05-28 |
Study of Measuring Semiconductor Resistivity by Three Mode Dual Electro-Testing Configuration with Four-Point Probes |
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| Su Changhou and Lu Xiaoming. Study of Measuring Semiconductor Resistivity by Three Mode Dual Electro-Testing Configuration with Four-Point Probes[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2003, 24(3): 298-306 |
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| Authors: | Su Changhou and Lu Xiaoming |
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| Affiliation: | Su Changhou1 and Lu Xiaoming2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | dual electro-testing configuration four-point probes sheet resistance resistivity |
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