| 微机电系统(MEMS)的应用 |
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| 引用本文： | 徐毓龙,徐玉成. 微机电系统(MEMS)的应用[J]. 测控技术, 1999, 18(1): 13-15 |
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| 作者姓名： | 徐毓龙 徐玉成 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学506室,710072 |
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| 摘 要： | 简要介绍微机电系统在各个领域的应用.
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| 关 键 词： | 微机电系统 微传感器和微执行器 电子鼻 微机械和微结构 |
| 修稿时间： | 1998-12-01 |
Applications of Micro-electro-mechanical System |
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| Xu Yulong,Xu Yucheng. Applications of Micro-electro-mechanical System[J]. Measurement & Control Technology, 1999, 18(1): 13-15 |
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| Authors: | Xu Yulong Xu Yucheng |
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| Abstract: | Applicationsof micro-electro-mechanical systems in a variety of areas are introduced. |
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| Keywords: | MEMS,microsensors and microactuators,electronicnoses,micromachines and microstructures 3" > |
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