| 磁过滤电弧离子镀制备DLC薄膜的表面形貌和成键状态 |
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| 引用本文： | 郭朝乾,林松盛,石倩,韦春贝,李洪,汪唯,代明江.磁过滤电弧离子镀制备DLC薄膜的表面形貌和成键状态[J].材料研究与应用,2019,13(2):83-89. |
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| 作者姓名： | 郭朝乾 林松盛 石倩 韦春贝 李洪 汪唯 代明江 |
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| 作者单位： | 广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510650 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金(2018A030313660)，广东省科技计划项目(2017A070701027,2014B070705007)，广东省科学院创新人才引进资助项目(2018GDASCX-0948)，广东省科学院科技提升项目(2017GDASCX-0111) |
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| 摘 要： | 利用磁过滤电弧离子镀技术在单晶Si基体表面沉积了类金刚石薄膜,研究了工作气压和偏压占空比对DLC薄膜表面形貌、沉积速率和成键情况的影响.通过扫描电子显微镜观察薄膜的表面形貌,利用Image pro-plus图像处理软件统计薄膜表面大颗粒的面积和数量,通过拉曼光谱仪测量类金刚石薄膜的成键状态,结果表明,随着工作气压从0.1 Pa升至0.5 Pa,薄膜表面大颗粒的总面积逐渐增加,沉积速率下降,sp3键含量增加;偏压占空比从15，提高至75，,表面大颗粒的总面积和数量均不断升高,沉积速率下降,薄膜中sp3键含量先降后升;占空比为30，时,薄膜中sp3键含量最低.
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| 关 键 词： | 类金刚石薄膜，磁过滤电弧离子镀，大颗粒，成键状态 |
Surface morphology and bonding states of DLC films prepared by magnetic filtered arc ion plating |
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| GUO Chaoqian,LIN Songsheng,SHI Qian,WEI Chunbei,LI Hong,WANG Wei,DAI Mingjiang.Surface morphology and bonding states of DLC films prepared by magnetic filtered arc ion plating[J].Journal of Guangdong Non-Ferrous Metals,2019,13(2):83-89. |
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| Authors: | GUO Chaoqian LIN Songsheng SHI Qian WEI Chunbei LI Hong WANG Wei DAI Mingjiang |
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