| 采用楔形连接波导和自对准反射镜的8×8阻塞型热光开关 |
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| 引用本文： | 李智勇,李运涛,刘敬伟,陈少武,余金中.采用楔形连接波导和自对准反射镜的8×8阻塞型热光开关[J].半导体学报,2007,28(Z1):516-519. |
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| 作者姓名： | 李智勇 李运涛 刘敬伟 陈少武 余金中 |
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| 作者单位： | 李智勇（中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083）;李运涛（中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083）;刘敬伟（中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083）;陈少武（中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083）;余金中（中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 通过改进热光开关单元和全内反射镜,设计并制作了基于SOI材料的8×8阻塞型热光开关矩阵.开关设计中,在单模波导和多模干涉耦合器之间引入楔形连接波导并进行优化,增大单模波导与多模波导之间的耦合效率,减小开关单元的损耗.此外,采用自对准方法提高了全内反射镜的光刻容差.开关矩阵各端口的平均插入损耗约为21dB,单个反射镜引起的附加损耗约为1.4dB,串扰少于-21dB.实验结果说明新设计改善了开关器件的整体特性,与理论分析一致.
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| 关 键 词： | 热光开关 SOI 楔形波导 全内反射镜 自对准 |
| 文章编号： | 0253-4177(2007)S0-0516-04 |
| 修稿时间： | 2006年11月17 |
Compact Blocking 8×8 Optical Matrix Switch on SOI with Taper Waveguides and Self-Aligned Total Internal Reflection Mirrors |
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| Li ZhiYong,Li Yuntao,Liu Jingwei,Chen Shaowu,Yu Jinzhong.Compact Blocking 8×8 Optical Matrix Switch on SOI with Taper Waveguides and Self-Aligned Total Internal Reflection Mirrors[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(Z1):516-519. |
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| Authors: | Li ZhiYong Li Yuntao Liu Jingwei Chen Shaowu Yu Jinzhong |
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