| 沉积工艺参数对磁控溅射AlSn20Cu涂层性能的影响 |
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| 引用本文： | 宋惠,刘智勇,唐纬虹,杨润田,凌国平.沉积工艺参数对磁控溅射AlSn20Cu涂层性能的影响[J].兵器材料科学与工程,2017,40(6):26-29. |
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| 作者姓名： | 宋惠 刘智勇 唐纬虹 杨润田 凌国平 |
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| 作者单位： | 中国兵器科学研究院宁波分院表面与腐蚀科学研究室,浙江宁波315000;浙江大学材料科学与工程学院,浙江杭州310027;中国兵器科学研究院宁波分院表面与腐蚀科学研究室,浙江宁波,315000;浙江大学材料科学与工程学院,浙江杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;中国博士后科学基金 |
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| 摘 要： | 针对目前国内柴油机轴瓦减摩涂层研究的不足,采用非平衡磁控溅射技术制备AlSn20Cu涂层,通过单因素变量法系统地研究基体温度、沉积气压以及基体偏压等参数对AlSn20Cu减摩涂层性能的影响,最终确定AlSn20Cu涂层的最优制备条件。在考察AlSn20Cu涂层的力学性能与摩擦学性能后发现:基体温度与沉积气压两个因素对AlSn20Cu涂层的结合力影响较小,而对涂层硬度有较大影响;基体偏压对涂层的结合力与硬度均有较大影响。实验还制备出具有优异力学性能和摩擦学性能的AlSn20Cu涂层的轴瓦样品。
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| 关 键 词： | AlSn20Cu涂层 制备参数 性能 轴瓦 |
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