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| 基于PZT的面内压电微驱动器力学分析 | |
| 引用本文： | 景作军,高轩.基于PZT的面内压电微驱动器力学分析[J].北方工业大学学报,2017,29(5). |
| 作者姓名： | 景作军 高轩 |
| 作者单位： | 北方工业大学机械与材料工程学院,100144,北京;北方工业大学机械与材料工程学院,100144,北京 |
| 摘 要： | 基于PZT的面内压电微驱动器是一种能够在面内产生水平运动的微型驱动器,由下层的Si单质和上层的PZT组成.通过施加电场,使驱动器末端产生位移来实现驱动功能.本文通过将整个驱动器划分为横梁和斜梁,以横梁和斜梁连接处位移相等为条件,求出二者连接处的受力大小,进而给出微驱动器在z方向电场作用下y方向上的形变关于各个结构参数及电场的函数表达式. |
| 关 键 词： | 微驱动器 复合材料 PZT 力学分析 |
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