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| 压力变送器用全焊接结构的扩散硅敏感元件的研制 | |
| 引用本文： | 秦秋石,盖洪凯.压力变送器用全焊接结构的扩散硅敏感元件的研制[J].半导体技术,1991(1):24-30. |
| 作者姓名： | 秦秋石 盖洪凯 |
| 作者单位： | 机电部沈阳仪器仪表工艺研究所 (秦秋石，盖洪凯，刘通)，机电部沈阳仪器仪表工艺研究所(张治国) |
| 摘 要： | 本文介绍了研究开发全焊接结构的硅压力敏感元件的具体内容及解决的技术关键问题。对硅-玻璃-金属静电封接工艺做了一些论述。最后给出了研制的全焊接结构的扩散硅压力敏感元件的性能指标、测试结果。 |
| 关 键 词： | 压力变送器 硅敏感元件 焊接结构 |
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