清洗工艺在太阳能电池工业化生产中的应用

太阳能电池工业化生产中采用前清洗工艺,可以有效地去除硅片表面的机械损伤层,清除表面油污和金属杂质,形成起伏不平的绒面进而增加对太阳光的吸收,增加PN结面积,最终提高硅晶体太阳电池的光电转换效率。后清洗工艺可以有效地进行湿法刻蚀和去除在扩散过程中形成的PSG。