| 接触电容式压力传感器的设计与模拟 |
| |
| 引用本文： | 彭韶华,周闵新,秦明,黄庆安. 接触电容式压力传感器的设计与模拟[J]. 传感器与微系统, 2003, 22(12): 78-80 |
| |
| 作者姓名： | 彭韶华 周闵新 秦明 黄庆安 |
| |
| 作者单位： | 东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 |
| |
| 摘 要： | 针对大气测量的气压计应用,根据接触电容式压力传感器的工作原理,优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证,最后讨论了这种结构的非线性度。
|
| 关 键 词： | 接触式 电容式压力传感器 有限元 气压计 |
| 文章编号： | 1000-9787(2003)12-0078-03 |
| 修稿时间： | 2003-06-26 |
Design and simulation of touch mode capacitive pressure sensor |
| |
| PENG Shao-hua,ZHOU Min-xin,QIN Ming,HUANG Qing-an ,China). Design and simulation of touch mode capacitive pressure sensor[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2003, 22(12): 78-80 |
| |
| Authors: | PENG Shao-hua ZHOU Min-xin QIN Ming HUANG Qing-an China) |
| |
| Affiliation: | PENG Shao-hua,ZHOU Min-xin,QIN Ming,HUANG Qing-an 210096,China) |
| |
| Abstract: | Based on the working principle of touch mode capacitive pressure sensor, the structure of the circular membrame of absolute pressure sensor is designed and optimized for the application of barometers. Finite element software ANSYS is used to verify the structure design. The nonlinearity is finally analyzed. |
| |
| Keywords: | touch mode capacitive pressure sensor finite element barometer |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
