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| Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入 | |
| 引用本文： | 王松雁,田修波,汤宝寅,陈轶斌,王小峰,魏强,曾照明.Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入[J].中国表面工程,1997(2). |
| 作者姓名： | 王松雁 田修波 汤宝寅 陈轶斌 王小峰 魏强 曾照明 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学!150001 |
| 摘 要： | 本文利用电感耦合的射频激励产生的氮等离子体对Ti6A14V进行等离子体浸没离子注入．处理结果发现，随射频功率及氮离子注入剂量增加，Ti6A4V表面显微硬度增加；注入能量及剂量对材料摩擦磨损性能有显著影响，而且注入能量不同，最佳注入剂量也相应变化；射频激励下等离子体浸没离子注入具有注入和氮化双重作用． |
| 关 键 词： | 射频激励的等离子体 等离子体浸没离子注入 Ti6A14V |
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